Los materiales cerámicos juegan un papel crucial en la industria de semiconductores, y sus aplicaciones se ejecutan a través de varias etapas de fabricación de chips de semiconductores. Las siguientes son algunas de las principales aplicaciones de materiales cerámicos en la industria de semiconductores:

Componentes de equipos semiconductores: Los materiales cerámicos se utilizan ampliamente en múltiples componentes de equipos semiconductores debido a su alta dureza, alta resistencia al desgaste, alto aislamiento, resistencia a la corrosión, bajo coeficiente de expansión térmica y otras características. Por ejemplo, mesas de pulido, placas de pulido y brazos de manejo utilizados en procesos de CMP (pulido químico mecánico); Ventosas de vacío, mandriles de oblea, bancos de trabajo y brazos de manejo durante el proceso de fotolitografía; Y componentes como aisladores, bases, botes de cristal, tubos de horno, hélices en voladizo, etc. en equipos de procesamiento de alta temperatura como RTP (tratamiento térmico rápido), epitaxia, oxidación, difusión, etc.

Equipo de grabado: En los equipos de grabado con plasma, los componentes hechos de materiales cerámicos incluyen espejos de ventana, discos de dispersión de gas, boquillas, anillos de aislamiento, placas de cubierta, anillos de enfoque y abrazaderas electrostáticas. Estos componentes deben tener una excelente resistencia al grabado con plasma para hacer frente a con las duras condiciones del proceso de fabricación de virutas.

Sustrato cerámico: Como material clave para el embalaje de dispositivos electrónicos, los sustratos cerámicos se utilizan ampliamente en campos como la iluminación de semiconductores, los sensores y los módulos de control de dispositivos de alta potencia. Los tipos de sustratos cerámicos incluyen sustratos cerámicos planos, sustratos cerámicos multicapa, así como DPC (recubrimiento directo de cobre), DBC (cobre unido directo), AMB (soldadura fuerte de metales activos), LTCC (cerámica multicapa cocida a baja temperatura), HTCC (cerámica multicapa cocida a alta temperatura), etc. clasificados por proceso.

Componentes de comunicación óptica: Las fundas cerámicas son componentes importantes en la comunicación óptica, cocidas y procesadas a partir de polvo de circonita, utilizadas para la conexión activa entre fibras ópticas. Con el desarrollo de tecnologías como las redes 5G, la computación en la nube y el Internet de las cosas, la demanda de fundas cerámicas en la construcción de redes de comunicación óptica sigue creciendo.